二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #9284835 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A
ID: 9284835
晶圓大小: 12"
Vertical diffusion furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A是一種自動電化學蝕刻沈積設備,設計用於各種工業生產線。該系統能夠一致、準確地提供各種電鍍、蝕刻和沈積工藝。它能夠為生產線上的不同部件提供定制工藝,達到均勻的沈積厚度和質量。TEL Indy-A平臺由微處理器供電,它允許用戶訪問各種參數並調整設置以適應組件和所需的過程。該單元有一個簡單、直觀的用戶界面,用於優化自定義和控制,以實現所需的結果。它支持自動化流程,使操作員能夠以最小的努力加快吞吐量,同時仍能實現高精度和可靠性。TOKYO ELECTRON INDY一臺機器能夠實現非常精確的電鍍和蝕刻過程,得益於高功率的X-Y-Z電動級和晶圓夾緊力。這種特性的組合使得TEL/TOKYO ELECTRON INDY A工具實現了極其穩定和可重復的過程,具有優越的蝕刻速率控制和在大面積上均勻的厚度結果。此外,TOKYO ELECTRON Indy-A資產還配備了電化學阻抗光譜(EIS)裝置,用於特殊剖析和監測蝕刻/電鍍過程中的化學變化。Indy-A型號的定制版本配置性強,具有各種刀頭組合、晶圓尺寸支撐、基板加熱和溫度控制,以及內置的安全參數,以確保最高級別的安全。此外,INDY A設備支持具有可定制設置的一步和多步過程,以及大衣沈積、濕蝕刻開發,甚至還支持用於校準和校正措施的軟件。最後,TEL INDY A系統被設計為各種工業生產線的高效可靠的自動蝕刻/電鍍解決方案。用戶友好的UI、精確的機動化階段和晶片夾緊力,以及可定制的刀頭和軟件選項,使此蝕刻器/asher具有高度的可配置性,幾乎適合任何生產需要。
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