二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #9355273 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A是生產半導體器件的asher/etcher設備。它提供卓越的等離子體蝕刻和清潔功能，具有低溫工藝窗口。TEL Indy-A系統有300 i和500 i兩種型號，允許處理300 mm和500 mm基板。兩種型號都有嵌入式CCD和X-Y掃描儀，為高效蝕刻提供精確的基板定位。TOKYO ELECTRON INDY A單元在植入興奮劑方面也具有卓越的植入能力。它對低濃度基板的植入具有低電壓操作。該機器有一個獨立的加工臂，能夠處理單晶片或多晶片運行，最佳效率高達每小時18+晶片。TEL INDY A工具與PECVD和ICP兼容，提供卓越的腔室清潔度。它利用觸摸感應/定位機制和Chameleon 12 PECVD資產進行等離子體蝕刻，允許進行低溫和高溫處理。該模型設計用於任何尺寸晶圓的快速、精確蝕刻。Indy-A設備用途廣泛,支持靈活性和定制。它提供「智能」功能來提高系統性能，如熱監測、Web輔助和基板映射。該裝置還提供低壓和高壓選項，以及真空和空氣操作模式。該機器包括提供實時過程控制的集成軟件。該工具還包括流程開發工具,如配方構建實用程序和自動診斷。TEL/TOKYO ELECTRON INDY A的特點是低成本、全自動操作，專為高效、按需生產而設計。此外,INDY A符合RoHS標準,旨在減少半導體生產對環境的有害影響。綜上所述,TOKYO ELECTRON Indy-A是一種先進的asher/etcher資產,它提供精確、自動化的單晶圓和多晶圓運行處理,並具有卓越的工藝能力。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A具有低成本、柔性元件的高性能效能,旨在以最小的環境影響實現精密蝕刻。