二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293634371 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一款為滿足半導體制造業的蝕刻/灰化需求而設計的蝕刻/灰化設備。它是一個快速、經濟高效的系統，提供精確的蝕刻深度控制，提高吞吐量和穩定運行。TEL INDY B L提供了一系列功能,包括可編程的溫度控制、氣流控制、壓力控制,以及五種預定義的蝕刻/灰分配方,可針對不同的晶圓尺寸和器件工藝進行設置。TOKYO ELECTRON INDY B-L是利用靜電卡盤（ESC）和脈沖直流等離子體（PDP）能力的全尺寸腔室單元。ESC用於在蝕刻/灰分過程中保持晶片,而PDP提供了更有效地輸送過程氣體的額外功能。該機器還具有內部質量流控制器（MFC）和可選的外部MFC,可實現精確的離子能量控制,有助於防止晶圓斷裂並實現卓越的產品質量。INDY B-L的階梯式淋浴頭設計提供垂直方向的均勻反應。它還提供了使用各種蝕刻/灰分配方的靈活性,這些配方可以針對不同的晶圓大小和設備過程進行編程。這些配方也可以針對壓力、溫度、總壓力或範圍進行調整。TEL Indy-B-L還提高了生產率,提高了吞吐量,縮短了周期時間,提高了晶圓產量。Indy-B-L還為晶圓表征提供了集成的EGA/FIB端口。雙EGA/FIB端口可用於分析蝕刻/灰分過程中的反應壓力和溫度條件,以及評估蝕刻/灰分過程中當前蝕刻速度和去除量。INDY B L還提供了額外的組件，如汙染和排氣機，以幫助減少空氣中的顆粒和氣味，以及清除氣體面板，以保護和壓縮等離子體腔。其他功能包括集成的EGA/FIB端口連接、帶有菜單驅動配方控制的操作員界面,以及保護用戶和工具的安全聯鎖和警報。總體而言,TEL INDY B-L提供精確、經濟高效的蝕刻/灰化,具有出色的可重復性、改進的吞吐量和最佳的工藝控制,使其成為半導體制造業的理想解決方案。