二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293637531 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是為半導體器件制造而設計的蝕刻器。這臺機器的設計目的是以最小的熱效應對樣品材料進行精確的蝕刻。利用高精度蝕刻機構從樣品表面去除材料。該蝕刻器具有高度的精確度和可重復性，使其成為從半導體基板上去除薄膜的理想工具。TEL INDY B L能夠使用不同的蝕刻技術進行蝕刻，以滿足各種要求。該設備由兩種蝕刻工具組成，一種是P.C.E.T（等離子體化學蝕刻工具），另一種是V.E.E.T（真空蝕刻蝕刻工具）。P.C.E.T用於化學蝕刻，並配有等離子體火花發生器，用於更精確的蝕刻控制。V.E.E.T用於真空蝕刻。該工具配有可調壓力系統，以精確控制腔室內的壓力。TOKYO ELECTRON INDY B-L也配備了先進的監控單元。這臺機器不斷監測諸如壓力、溫度和壓板電壓等蝕刻參數。它還包括在蝕刻過程中產生樣品圖像的視覺顯示。該工具可以連接到外部顯示器,以獲得其他顯示選項。蝕刻器提供了一系列支持不同流程的功能和靈活性。它有一個自動加載程序,允許用戶加載和卸載示例。它還有一系列工藝氣體閥和樣品制備升降機，可以方便地將樣品提升到腔室中。INDY B-L設計用於提供一致的蝕刻結果,對樣品的熱效應最小。它具有溫度控制資產，在蝕刻過程中保持一致的溫度。蝕刻器還具有自動循環傳感器,用於監視蝕刻周期的進度,並提醒用戶蝕刻速率或溫度有任何重大變化。TOKYO ELECTRON Indy-B-L被認為是用於半導體器件制造的可靠的生產設備。它的靈活性和各種功能使它能夠處理各種流程的需求。高級監視模型可確保一致的結果,並且自動循環傳感器會提醒用戶蝕刻條件的任何更改。其性能和可靠性使得TEL INDY B-L成為在半導體器件上蝕刻復雜特性的理想工具。