二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293643318 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是為半導體制造領域的應用而設計的先進蝕刻和灰化設備。TEL INDY B L專為高性能和高度通用的平臺而設計，允許用戶實現高吞吐量和高靈活性。TOKYO ELECTRON INDY B-L由一個水平安裝的平臺組成，該平臺包含一整套組件，包括一個遠離炮塔、一個ashing模塊、三個獨立的氧氣、CF4和C3F8源、兩個獨立的底物源、兩個獨立的側寬和一個單溫室。此外，TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L還包括一臺RF發電機和可選的浮動基板卡盤，允許用戶根據自己的特定工藝需求定制系統。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L利用數位振蕩器設計，允許精確的頻率控制和快速的數位調諧。遠端轉塔的使用為每個流程提供了更快、更高效的機器設置，優化了用戶的流程性能。利用獨立的Oxygen、CF4和C3F8源以及雙獨立基材源可以進一步提高蝕刻工藝的質量。TEL Indy-B-L的雙基材源允許使用同一單元同時處理低k和高k材料，從而不需要為每種基材類型配備專用蝕刻器。利用先進的溫度控制和射頻發生器，還可以進一步提高蝕刻工藝的質量和性能。TOKYO ELECTRON Indy-B-L的溫度室是真空密封的，擁有先進的等離子體溫度控制機，允許精密的溫度管理和廣泛的工藝應用。INDY B-L集成的大功率射頻發生器設計，可實現精確的頻率控制和快速的數字調諧，顯著提高了用戶控制蝕刻過程等離子參數的能力。總之，TEL INDY B-L是為半導體制造領域的應用而設計的先進蝕刻和灰化工具。INDY B L專門設計為高性能和高度通用的平臺，允許用戶實現高吞吐量和高靈活性。膨脹的組件套件，結合數字振蕩器設計、先進的溫度控制和射頻發電機，使Indy-B-L成為低k和高k材料的理想蝕刻和灰化資產。