二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293643320 待售
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單擊可縮放
ID: 293643320
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Furnace, 12"
Process: DCS-HTO
Load lock system
KAWASAKI W/T Robot
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一種蝕刻器/asher，設計用於處理各種半導體制造中所需的各種表面處理工藝。這種高規格的蝕刻器/asher具有許多功能,可確保更快的處理速度和更高的精度。它具有獨特的外圍密封設備,有助於最大程度地減少工藝碎片,幫助減少因蝕刻噴嘴堵塞或其他工藝相關問題而導致的停機時間。這可以幫助用戶獲得前所未有的可靠性級別更高的收益。采用低壓等離子體系統，消除脫氣時間，實現更高的蝕刻速率。它還在廣泛的工藝氣體中支持幹蝕刻、幹條和濕條，並且與鹵化物基蝕刻和等離子體條工藝兼容。蝕刻器/asher具有溫度控制的基板支架,可確保均勻的蝕刻條件。這有助於防止熱沖擊並提高工藝穩定性。它還具有高精度的轉移臂，減少了單元的停機時間，使其能夠在保持安全工藝條件和縮短基板裝卸時間的同時，準確地向上和向下拾取基板。TEL INDY B L還配備了射頻驅動的平板等離子射頻控制機，有助於確保所有蝕刻過程的同心性和均勻性。這有助於減少加工時間和基板變形。最後，這款蝕刻器/asher配備了高性能的清潔工具和質量保證資產，以確保加工過的基板符合最高標準。該模型的電子控制設備確保了整個過程的可重復性,使其成為確保對要求最苛刻的半導體應用進行高質量處理的理想工具。
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