二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293643336 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L（Induction Etcher/Asher）是TEL專門為半導體制造開發的高精度真空加工機。這種蝕刻器/asher的設計目的是為了達到垂直蝕刻的效果，具有優異的工藝均勻性，低顆粒生成，以及高精度蝕刻。TEL INDY B L有利於極小規模結構的深度蝕刻，為高縱橫比結構提供了良好的輪廓控制。TOKYO ELECTRON INDY B-L提供各向異性感應蝕刻（AIE）、各向同性感應蝕刻（IIE）和四面體蝕刻（TE）三種蝕刻。AIE提供高度定向（高各向異性）的蝕刻,非常適合形成陡峭的側壁特征,而IIE和TE可用於創建緩坡輪廓。此外，可以對TE工藝進行調整，以提供精確的蝕刻控制，從而以非常精確的蝕刻精度制造出精確的三維結構。TEL Indy-B-L配備了多室環境，能夠在同一臺機器上進行蝕刻和灰化過程。蝕刻室采用低壓微波驅動的感應線圈，設計用於防止材料在加工過程中意外電離。Ashing chamber use a reactive gas to before faster retching uniformity and higher throughputs.INDY B L還具有先進的蝕刻/處理控制設備,該設備利用基於GUI的用戶界面與專有的工業級計算機系統耦合。此單元可通過直觀的菜單驅動環境精確控制蝕刻結果。該機器還提供各種診斷、過程歷史記錄、數據傳輸和設置模板,以高效可靠地蝕刻/處理高質量的結果。綜上所述，TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L是為最苛刻的半導體工藝而設計的高級蝕刻/灰化工具。該機提供出色的蝕刻均勻性、粒子控制和輪廓控制，並以強大的控制資產為後盾。INDY B-L裝備獨特，可精確、精確蝕刻小規模結構，可用於廣泛的不同蝕刻和加工用途。