二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293809898 待售
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ID: 293809898
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Vertical furnace, 12"
Process: D-Poly
Hard Disk Drive (HDD)
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是為制造半導體和集成電路器件而設計的蝕刻器/asher。它是一種高度通用、集成、快速響應的設備，非常適合淺溝隔離（STI）、高長寬比金屬蝕刻、淺溝金屬條紋和淺溝隔離（STI）以及深溝隔離（DTI）等多種應用。TEL INDY B L在半導體制造中采用了最新的最新技術。它具有TEL專有的清潔控制系統（CST）,用於控制蝕刻薄膜,從而減少缺陷,以及具有創新的樣品傳輸概念的可靠樣品傳輸單元（RST）,可實現高通量過程。TOKYO ELECTRON INDY B-L可以容納不同的源材料，其Etch和Asher部分提供了廣泛的靈活性和精確度。INDY B L可用於刻蝕淺溝金屬條帶，用於掩埋接觸裝置和圖樣線，淺溝隔離用於接觸和層間金屬化，深溝隔離用於裝置隔離。蝕刻過程是高度可定制的,具有可選的蝕刻時間、溫度、壓力和氣體流速。它還包括可編程的等離子體控制功能，以有效處理不同的薄膜。在其Asher部分，TEL INDY B-L的特點是集成冷卻機和可變面積噴嘴，使反應物沿晶片表面均勻分布，集成防洪槍在晶片表面沈積均勻薄膜，防止重新沈積。Asher部分還具有觸摸屏界面,可輕松設置和操作蝕刻和灰化過程。總之，TEL Indy-B-L 蝕刻器/asher是為制造半導體和集成電路器件而設計的一種集成的高性能工具。它具有一系列用於控制蝕刻薄膜的先進技術，以及一個簡單設置和操作的用戶友好界面。其高度可定制的蝕刻和灰化工藝使其非常適合半導體制造的各種應用。
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