二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293810872 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一種用於半導體器件制造的高精度蝕刻器或asher。這種濕蝕刻工藝工具保證在任何半導體晶圓上對介電和金屬薄膜進行超精確蝕刻。它能夠蝕刻高達0.375 μ米厚的薄膜，可靠的輪廓精度± 0.2 μ米。TEL INDY B L對大量食譜具有較高的加工精度和高效率的操作。蝕刻過程大多是交互式的，由過程控制軟件引導。其腔室內部設計為銳利且均勻地降低壓力以進行一致的壓力蝕刻。此外，該室還裝有氣體循環熱交換器，以確保溫度穩定。TOKYO ELECTRON INDY B-L具有低於± 2°C的晶圓溫度均勻性,並具有兩個現場監測蝕刻結果的觀察口。晶圓旋轉速度可在500 rpm至5,000 rpm之間，以進一步確保精確蝕刻。正面源包含一個產生高頻電壓的放大器，以誘導蝕刻化學的變化，用於精確的蝕刻控制。源還具有自動調諧功能,使其能夠根據要蝕刻的材料和蝕刻條件自動優化源參數。TEL Indy-B-L的特殊安全特性包括緊急通風閥、集成滴盤以及內置酸收集和中和系統。總體而言，它為制造半導體器件提供了極其可靠、經濟高效和準確的蝕刻工藝。