二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293822129 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一種通用的蝕刻/asher儀器,用於制造半導體。它旨在提供出色的基板平面性和出色的形狀重復在蝕刻和灰化過程。TEL INDY B L采用獨特的電化學蝕刻設備,精確控制蝕刻和灰化率。該系統利用電源盒控制電流密度,並利用液位感應裝置在蝕刻/灰化過程中保持恒定液位。因此,TOKYO ELECTRON INDY B-L提供了優越的蝕刻和灰化產率。INDY B-L還具有內置冷卻裝置,可提供更快的蝕刻速率,以及堅固的設計,以確保設備的卓越壽命。TEL INDY B-L還擁有一個負載鎖定室,能夠在蝕刻和灰化過程中精確控制基板溫度。該腔室還可確保對基板進行精確的微清洗,消除汙染物,提高基板的新鮮度,用於蝕刻和灰化工藝。INDY B L具有先進的真空機,可進行深亞微米蝕刻。此工具還可確保準確維護蝕刻和灰化率,從而實現更高效的過程控制。此外,TOKYO ELECTRON Indy-B-L促進了均勻試劑在底物上的沈積,有助於在蝕刻和灰化過程中提高工藝產率。TEL Indy-B-L還包括一個內置的粒子裝載機,使基板能夠快速準確地加載到蝕刻/asher機中。裝載機允許快速形成真空,從而實現更快的蝕刻和灰化過程.此外,TOKYO ELECTRON INDY B L擁有先進的自動電化學混合資產,可確保精確控制蝕刻和灰化率。該模型在蝕刻和灰化過程中準確保持pH平衡,確保底物和試劑之間的最佳反應速率。總體而言,Indy-B-L是一種先進的蝕刻/asher儀器,具有極好的蝕刻和灰化產量。其獨特的設計、精確的控制以及高效的裝卸功能,使其成為制造半導體的理想解決方案。
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