二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293825595 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一種蝕刻器/asher，設計用於廣泛的蝕刻和灰化過程。它是一種可用於實驗室和生產應用的蝕刻器/asher。該裝置由控制器、氣櫃、蝕刻室和夾具組成。氣櫃包含將用於蝕刻和灰化過程的氣體，並通過夾具與腔室相連。控制器容納數字和模擬輸入/輸出電路,並包含可針對蝕刻和灰化過程進行調整的參數。溫度、壓力和其他條件的參數可以調整以創建特定應用程序的精確蝕刻或灰燼。在蝕刻室內，既可以使用濕蝕刻，也可以使用灰化工藝。對於濕蝕刻，濕化學物質用於在金屬或半導體材料的表面上產生蝕刻。濕蝕刻過程中使用的化學物質通常是鹵化氫，如鹽酸和氫氟酸。在灰化過程中，幹燥蝕刻過程使用物理和電侵蝕來蝕刻材料表面。幹蝕刻過程使用氟碳氣體，如CF2和富氧等離子體。TEL INDY B L具有多種功能。該設備可用於蝕刻單個基板上的單層或多層。它還具有在不同脈沖條件下進行蝕刻的能力。該裝置有內置夾具和多層蝕刻的可移動支撐框架。它還包括對蝕刻深度和端點的連續監測系統。此外,還提供多種蝕刻室尺寸,允許大面積加工和靈活的蝕刻速率。最後，TOKYO ELECTRON INDY B-L具有眾多的安全特性。其中包括多級鎖定控制、工藝前後自動清除蝕刻劑以及外部互鎖系統。所有這些特性使得TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L成為可靠、安全的蝕刻和灰化系統。