二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9137329 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一種蝕刻器，或稱為asher，專為半導體工業制造晶片而設計。它用於將氧化物或其他材料轉移到晶片，允許用戶精確定義這種材料的圖樣。TEL INDY B L能夠在自動化環境中處理多達8個8「晶片或多達16個4」晶片。TOKYO ELECTRON INDY B-L的蝕刻工藝使用DRIE（深反應性離子蝕刻），一種將氧化物以高速率轉移到晶圓的技術。這種蝕刻方法提供了廣泛的工藝靈活性和精密控制，以滿足半導體制造工藝的要求。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L配備了高級自動處理器功能，用於指定氧化物沈積和蝕刻條件。這樣可以根據用戶的需要進行高速過程控制和調整。Indy-B-L由晶圓傳輸機構、晶圓支架、高頻微波發生器、安全互鎖、供氣設備等部件組成。它是為高性能而設計的，包括了真空室以盡量減少暴露於氧氣，以及用於激發氧氣分子和與其他化學物質產生反應的高頻發生器等特點。INDY B L也有多種安全功能，旨在保護操作員，以及該地區的其他人。這些安全特性包括氧氣傳感器和互鎖系統，防止機組在氧氣水平超過預定閾值的區域運行。除了蝕刻能力外，TEL INDY B-L也有吸引人的設計。蝕刻室的外形尺寸很小，采用多種材料制成，旨在顯著降低噪音和最小化振動。整個單元設計方便安裝，與TEL Service Net LN2機兼容。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L為許多現有和新興的應用提供了可靠的蝕刻解決方案，使其成為任何半導體制造工藝的通用選擇。其先進的特性、安全措施和吸引人的設計使其成為各種應用的理想蝕刻工具。