二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9140988 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L
ID: 9140988
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Furnaces, 12" 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一款全自動蝕刻器和asher,它利用最新的最新技術提供精確的半導體處理結果。與傳統的手動蝕刻方法不同,TEL INDY B L擁有先進的控制系統,能夠對溫度、化學濃度、氣流等參數進行精確調整,以保證清潔、優質的蝕刻。TOKYO ELECTRON INDY B-L憑借其高效的晶圓清洗和蝕刻能力,非常適合處理最先進的半導體基板,廣泛應用。TEL Indy-B-L具有板載加工機櫃,可用於蝕刻過程。這個櫃子配有氣體協調旋鈕,用於設定準確的壓力、溫度、濃度和流量,以達到清潔、高質量的效果。集成真空泵可有效地將氣態化學物質從蝕刻工藝室中排出。采用激光幹涉儀測量晶片厚度,並相應調整氣體參數,實現最大表面精度。為了確保精確的蝕刻結果,TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L配備了兩個加熱元件,在整個蝕刻過程中提供完全均勻一致的加熱。為了達到最大均勻性,上部加熱元件具有精確定義的氣隙,即使在整個晶圓表面積上也能保持所需的溫度。INDY B L還配備了智能熱監測設備,以復雜的細節監測加熱變化。為了保持安全的環境,TEL INDY B-L包括一個高性能的幹氣凈化系統,能有效去除空氣中的雜質,允許安全和幹凈的蝕刻。雙密封門可防止任何有害氣體化學物質逃逸,同時確保最大程度的安全和清潔。此外,一個排氣安全裝置檢測到任何快速的壓力上升,提供立即緩解,以保護單位免受潛在的傷害。INDY B-L運行在一臺具有強大數值控制工具和數據分析功能的高性能、多層CPU計算機上。它鏈接到一個用戶友好的顯示屏,允許方便的參數編輯、實時監控以及對所有蝕刻和灰化過程的完全控制。資產還配備了故障安全自動關機協議,確保機器在檢測到任何違規行為時自動關機。TOKYO ELECTRON INDY B L結合先進的控制系統和先進的吹掃技術,是尋求半導體蝕刻和灰化工藝精度和可靠性的用戶的首選。
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