二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9176040 待售
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已售出
ID: 9176040
晶圓大小: 12"
優質的: 2008
Vertical MLD AlO/HfO furnace, 12"
Process capability: Al203 and Hf02
Software revision: 6.10R001 (latest version)
Control type: Waves
Com module version: G607R01-A9990000
Dual FOUPS
(16) FOUP Stackers
Options: N2 Load lock, Low temp heater
Includes:
Cabinets / Units / Controllers:
Furnace cabinet
Power supply unit
Control unit
Main controller (WAVES)
Temperature controller
Cassette and wafer handling automation:
Auto tube shutter
Boat elevator with boat rotation mechanism
Wafer load automation
Load port system
Cassette load automation
(16) FOUP Stackers
MLD AlO/HfO Specific option:
Integrated gas system for AlO/HfO process:
Purge N2 gas line
Vaporizer unit for TMA precursor
Vaporizer unit for TEMAH precursor
Ozonizer unit
N2 Load lock:
O2 Density monitor in the loading area
N2 Gas system
Low temperature heater (VMM-56-104)
Vacuum foreline configuration with stainless steel manifold
2nd Gas Box
Set of AlO/HfO quartzware
System options:
Ionizer
UPS
Gas detectors:
TMA
O3
HCL
TEMAH
Octane
Includes:
Manuals
Currently installed
2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一種通用的蝕刻/asher儀器，用於制造半導體。它旨在提供出色的基板平面性和出色的形狀重復在蝕刻和灰化過程。TEL INDY B L采用獨特的電化學蝕刻設備，精確控制蝕刻和灰化率。該系統利用電源盒控制電流密度，並利用液位感應裝置在蝕刻/灰化過程中保持恒定液位。因此，TOKYO ELECTRON INDY B-L提供了優越的蝕刻和灰化產率。INDY B-L還具有內置冷卻裝置,可提供更快的蝕刻速率,以及堅固的設計,以確保設備的卓越壽命。TEL INDY B-L還擁有一個負載鎖定室，能夠在蝕刻和灰化過程中精確控制基板溫度。該腔室還可確保對基板進行精確的微清洗，消除汙染物，提高基板的新鮮度，用於蝕刻和灰化工藝。INDY B L具有先進的真空機，可進行深亞微米蝕刻。此工具還可確保準確維護蝕刻和灰化率,從而實現更高效的過程控制。此外，TOKYO ELECTRON Indy-B-L促進了均勻試劑在底物上的沈積，有助於在蝕刻和灰化過程中提高工藝產率。TEL Indy-B-L還包括一個內置的粒子裝載機，使基板能夠快速準確地加載到蝕刻/asher機中。裝載機允許快速形成真空,從而實現更快的蝕刻和灰化過程.此外，TOKYO ELECTRON INDY B L擁有先進的自動電化學混合資產，可確保精確控制蝕刻和灰化率。該模型在蝕刻和灰化過程中準確保持pH平衡，確保底物和試劑之間的最佳反應速率。總體而言，Indy-B-L是一種先進的蝕刻/asher儀器，具有極好的蝕刻和灰化產量。其獨特的設計、精確的控制以及高效的裝卸功能，使其成為制造半導體的理想解決方案。
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