二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9235796 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一種蝕刻器，又稱asher，用於微電子制造。它是一種先進的蝕刻設備，能夠生產具有精確幾何形狀的高質量設備結構。它具有高通量能力，可加工具有多種工藝化學性質的薄或厚基板。TEL INDY B L配有化學氣相沈積（CVD）室，使氧化物和氮化物的蝕刻能夠精確精確。該系統設計用於薄箔、矽片、剛性面板等多種基板。TOKYO ELECTRON INDY B-L擁有先進的用戶界面和直觀的七英寸液晶觸摸屏，讓用戶可以快速、輕松地輸入工藝配方。此外,該裝置還具有可靠的軌道機,可確保晶圓的精確傳輸.TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L適用於化學機械拋光（CMP）、淺溝隔離（STI）、金屬閘蝕刻等蝕刻應用。該工具可以處理不同寬度和深度的通風孔和溝槽，以及小至0.2微米的蝕刻線寬。此外，TEL INDY B-L結合了通過RF ICP（感應耦合等離子體）源產生的高性能等離子體，輸出範圍從100 W到1.2 kW。此外,INDY B L還具有多區域資產,旨在幫助在不同區域中加工不同的材料,同時利用優化的工藝參數。它還附有雙室批刻的四室處理模型。該設備擁有經過優化的氣體供應和輸送系統，能夠快速排出工藝化學物質，從而縮短了加工時間。TOKYO ELECTRON Indy-B-L具有一系列操作和生產保證的安全特性。它配備了一系列的監視器和傳感器，如壓力、溫度、流量和掩模溫度監視器，以及腔室壓力監視器，以確保過程的穩定性。此外,TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L配備了專用的ESD（靜電放電）裝置,可保護電路免受ESD引起的損壞。總之，TEL Indy-B-L是一款高度先進的蝕刻機，具有出色的用戶界面、寬廣的基板兼容性、可變等離子體輸出以及堅固的安全特性。它是CMP、STI、金屬柵極蝕刻等微電子蝕刻應用的理想選擇，可以產生精密的器件結構，精確度低至0.2微米。