二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9244878 待售
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ID: 9244878
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Diffusion furnace, 12"
Hard Disk Drive (HDD) Missing
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是半導體工業的高性能蝕刻器/asher。主要用於背面研磨、錐形蝕刻、地形處理、背面墊片蝕刻等關鍵應用。它可用於半導體晶片的各種稀釋工藝，如TEM/FIB樣品制備、樣品研磨、背面墊片蝕刻、表面圖樣加工、生產線後端加工等。該機精度高，雙工區大，蝕刻時間快。TEL INDY B L 蝕刻器/asher配備了一個幹蝕刻級聯圖表，這是由TEL開發的全自動工藝。此過程提供了卓越的過程控制、改進的靈活性和成本節約。它還配備了一個綜合流程監測系統，確保所有流程在最佳條件下運行。該系統監控壓力、溫度、蝕刻速率和定時，以保持最佳狀態。TOKYO ELECTRON INDY B-L設計有一個寬敞的工作區，在蝕刻過程中為晶圓的操作提供了充足的空間。大工作區的設計是為了確保操作員可以在蝕刻過程中輕松移動或調整晶片。此外，該機能夠處理最大平面尺寸為500毫米x 500毫米的大型基板。TEL INDY B-L的高速蝕刻能力使其適合處理多種基材和應用。例如,它能夠為高吞吐量應用程序同時處理多個樣本。它還具有激光輔助蝕刻功能，能夠處理30納米以下的特征深度，以及輸出可用於定位缺陷和跟蹤工藝性能的詳細晶圓圖。TOKYO ELECTRON Indy-B-L設計具有多種安全特性，如全封閉的不銹鋼工作空間和集塵系統。這有助於確保用於蝕刻過程的清潔和安全的工作環境。此外，該機還設計了多種蝕刻氣體控制功能，如流量監測儀、靜壓監測儀和溫度監測儀。總而言之，INDY B L的設計旨在為半導體行業的廣泛應用提供卓越的蝕刻性能。它能夠提供高速、高精度和可靠的蝕刻工藝以及所有必要的安全預防措施。此外，自動化的過程控制使得它適合高吞吐量的應用。
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