二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9270215 待售
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ID: 9270215
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Diffusion furnaces, 12"
Hard Disk Drive (HDD) Missing
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一種蝕刻器/asher，設計用於先進的半導體加工。它能夠在直徑不超過8英寸的晶片上精確蝕刻和曝光光刻膠。TEL INDY B L采用高純度、冷法、等離子體蝕刻工藝和低壓汽化蝕刻工藝，在先進半導體材料中產生高分辨率圖樣。TOKYO ELECTRON INDY B-L的蝕刻工藝利用了自成一體的專有高壓蝕刻工藝，導致汙染最小。蝕刻器對高純度蝕刻氣體和反應氣體采用先進的噴射系統，以維持低等離子體壓力和高質量的蝕刻工藝。TEL INDY B-L利用先進的氣體註入系統控制等離子體參數，確保等離子體分布高度均勻，防止反應產物堆積。這種設備還允許針對一系列晶圓結構和材料精確控制和調整蝕刻配方。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L用途廣泛，能處理矽化物、氮化物、氧化物和碳化物等多種材料。它還具有廣泛的可配置蝕刻室大小和多種類型晶圓的基材。它還能夠蝕刻任何形狀和深度的復雜結構，如通風孔、觸點、線條和溝槽。該機還可以處理高長寬比結構如門氧化物層。INDY B-L還提供了多種不同的控制選項，例如用於控制晶圓裝卸的Load Lock設備，以及用於引導等離子體流動的晶圓擋板系統。它還包括一個CHCV控制單元,該單元可自動設置腔室壓力和蝕刻速率,以及一個用於方便更換部件的滾出腔室門。該蝕刻器具有實時溫度控制機，可用於監測晶圓溫度並確保最佳蝕刻條件。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L是一款先進的蝕刻器/asher，旨在提供優異的蝕刻效果和精確的圖樣形成。INDY B L能夠蝕刻高分辨率、低汙染的細膩復雜結構。TOKYO ELECTRON INDY B L具有通用的功能集和自動控制功能,是滿足任何先進半導體加工需求的理想選擇。
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