二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394496 待售
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TEL （TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L）是一款為半導體制造而設計的蝕刻器/asher。它能夠同時處理多達100個晶圓，具有很高的可靠性和可靠性。TEL INDY B L有各種各樣的蝕刻工藝和應用，從淺溝蝕刻、深反應性離子蝕刻（DRIE）到蒸氣蝕刻。利用變頻相位電感耦合等離子體（ICP）實現蝕刻均勻性、選擇性和蝕刻速率的優化。TOKYO ELECTRON INDY B-L還具有用於濕蝕刻和幹加工應用的自動晶圓手柄，包括自旋沖洗幹燥和晶圓對準。該機配備了用於精確端點檢測的高精度端點檢測設備，以及能夠實現更高工藝產量的端點後擦洗系統。此外，該機器能夠安全和精確地處理各種類型的反應容器的所有蝕刻過程。TOKYO ELECTRON Indy-B-L配備了主動和被動安全系統，以確保用戶安全的最高水平，保護環境。機器提供了廣泛的可編程警報和安全傳感器，如緊急停止按鈕，以檢測任何不安全的情況。為了確保一致和可靠的結果，INDY B L被設計為全面的過程和單元監測。車載計算機不斷監控過程條件，包括壓力、溫度等參數。該機還具有自動校正工具，可在需要改進過程控制時自動調整參數。INDY B-L是半導體制造的理想選擇，由於其高質量和可靠的性能，無論是低批量生產還是大批量生產。該機設計方便維護和快速清洗，以盡量減少停機時間和增加整體吞吐量。
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