二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394500 待售
網址複製成功!
ID: 9394500
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Furnace, 12"
Plasma Assisted Process (PAC) Module
Gases:
N2O
NH3
SiH2Cl2
SiH4
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一款功能強大且精確的濕蝕刻/asher。該裝置是一種半批量濕蝕刻設備,設計用於精確控制蝕刻時間和溶液。它是一個全自動機器,允許精確的化學溶液和精確控制參數,如蝕刻速度和蝕刻速率。通過自動調整參數,TEL INDY B L可以提供精確的蝕刻結果,達到微米級精度。它非常適合表面工程應用,如晶圓加工、基板清洗以及光掩模磨損。TOKYO ELECTRON INDY B-L是完全自動化的,需要最少的使用者交互。它配備了自上而下的視覺檢測系統,在蝕刻過程中提供精度和準確性。此單元還允許用戶在執行實際蝕刻之前蝕刻某個區域並生成最終結果的預覽。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L可以配置一系列蝕刻溶液,如氫氟碳化合物、洗滌劑溶液和高度蒸發溶液。該機還允許用戶在高溫、低溫和高溫蝕刻之間進行選擇。TEL Indy-B-L配備了允許多級蝕刻的雙室工具。這意味著用戶可以用相同的一組參數蝕刻不同的基板,並允許他們從第一個腔室到第二個腔室運行不同的蝕刻技術。該資產還設計有種類繁多的蝕刻端口,從小到大,從薄到厚的基板。TOKYO ELECTRON INDY B L內置的安全特性使其成為敏感晶片和基材濕蝕刻的理想選擇。它包括壓力傳感器、溫度傳感器和電平傳感器,以保護工具和用戶。此外,它還具有一系列故障轉移恢復功能,如緊急停止、溫度控制、高速防汙控制等。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L是一款功能強大、精密的濕蝕刻工具,設計用於精度和安全性。其自動化特性、精密控制和安全功能使其成為表面工程和光掩模磨損應用的理想選擇。
還沒有評論