二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394956 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是用於半導體制造工藝的下一代蝕刻器/asher。它是業界領先的低成本解決方案,提供卓越的吞吐量和晶圓一致性,有助於降低設備成本和提高整體盈利能力。TEL INDY B L 蝕刻器/asher利用先進的蝕刻技術和專有蝕刻源提供市場領先的性能。其穩健的設計基於可靠的單級CVD-PVD工藝，允許單個工具執行所有蝕刻、雜質去除、沈積和離子植入步驟，從而提高循環時間和更高的吞吐量效率。TOKYO ELECTRON INDY B-L特別適合低溫等離子體蝕刻，反應時間快，蝕刻選擇性高，均勻性高。該工具利用各種源氣體、工藝混合通道和集成烤箱對不同的輪廓進行編程，還能夠對SiO2/SiN/Si3N4/SiON薄膜進行精確的金屬蝕刻。此外，其帶有3維機器人臂的自動晶片處理設備確保了更快的晶片加載和切換，而其先進的數據記錄系統促進了詳細的過程監測和數據收集，以支持過程產量的提高。Indy-B-L 蝕刻器/asher也能夠進行批處理，使得多個晶圓能夠同時進行。它還設有一個自我消毒裝置，有助於消除顆粒，防止汙染。此外，它還配備了自動卡盤清洗技術，在清潔周期時間上允許更高的精度和生產率。總之，TOKYO ELECTRON INDY B L是一種先進的蝕刻/灰化機，提供高通量和工藝均勻性、效率和成本節約，以及優越的晶圓均勻性、精確度和精確度。