二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394957 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一種利用先進技術建造的蝕刻和灰化設備，用於晶圓基板的精確和高效陣列。該系統旨在最大限度地提高蝕刻和灰化工藝的能力，特別是在半導體制造中。TEL INDY B L使用專用系統處理每一個蝕刻和灰化工藝，可以精確優化蝕刻參數，如氣體壓力和腔室溫度，同時優化基板上目標的去除。這樣就提高了基板的產量和電路的可靠性.該裝置設有一個氣體箱，在每種操作氣體的最佳壓力範圍內運行，有助於確保均勻的氣體分配，提高蝕刻選擇性。TOKYO ELECTRON INDY B-L還配備了專用電極電源，設計用於穩定、均勻的輸出，以提高等離子體均勻性。這有助於通過精細調整氣體壓力實現對蝕刻的精確控制，從而實現準確、統一的結果。此外，負載鎖定機制可以防止蝕刻和灰化氣體的混合，同時允許簡單方便的晶圓加載。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L還得益於內置的高級控制機器，該機器設計用於每個過程的精確溫度控制和氣體分布。這有助於最大限度地提高晶片的吞吐量,同時還能實現統一的端點控制以提高效果。塗層室內也有助於防止腐蝕過程中的汙染，從而確保潛在的裝置產量。此外，還在TOKYO ELECTRON INDY B L工具中加入了一種抗蝕劑剝離能力，從而能夠有效去除底物中不需要的碳殘留物。這樣就提高了產品產量和功能，同時也減少了危險化學品的使用。最後，TEL Indy-B-L資產提供精密的蝕刻和灰化能力，旨在滿足現代高精度晶圓行業的需求。此模型提供了一系列功能,可增強蝕刻和灰化過程的能力,從而提高產量和電路可靠性。