二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394959 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一種SI多晶圓，高通量，批處理蝕刻器/asher設備，最大晶圓尺寸為75毫米。這種高科技系統在各種蝕刻/灰化過程（如MEMS、SOI、應力減輕、各向異性和鍍銅）中提供卓越的性能。這個單元有一個專用的互鎖控制機和一個PID控制的射頻發生器，在處理步驟中有效地管理電源和壓力設置。它配備了一個HMI（人機接口），允許調整設置、監測過程參數和訪問相關的過程信息。TEL INDY B L的射頻發生器提供了對功率、壓力和頻率的精確控制，允許極其精確和可重復的蝕刻/灰化過程。此工具還具有100個自動配方,以及每個流程步驟的數據記錄和警報設置。TOKYO ELECTRON INDY B-L還有一個多柱設計，允許將多個晶片加載到同一個托盤中以提高生產力。這項最先進的資產進一步配備了TEL自己的Spatia Process Automation （SPA）算法，該算法精確校準模型對每個腔室和晶圓的工藝參數。通過減少對過程控制參數的人工幹預,可以實現更準確和可重復的過程。此外，SPA算法還有助於減少人為錯誤和錯誤的可能性。總體而言,TEL INDY B-L是一種先進的多晶片蝕刻器/asher設備,可提供極其精確、可重復和高效的蝕刻/灰化過程。其集成的HMI、射頻發生器、互鎖控制系統和SPA算法為用戶提供了極大地改進生產流程所需的所有工具。