二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9395067 待售
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ID: 9395067
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Furnace, 12"
Process: D-Poly
Gases: NH3, DCS, (SiGe), C2H4, HF, 20%F2 with N2, TiCl3 Liquid
Power box
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一款蝕刻器/asher，旨在為廣泛的半導體加工提供一致、高質量的結果。它配備了240毫米標準模式發生器（SPG） 4級電鍍器，並可定制晶圓冷卻器、模塊化噴霧室、機器人手臂等升級。TEL INDY B L具有水平氣流和幹濕蝕刻相結合的特點.這允許用戶在蝕刻過程中實現更高程度的選擇性，以及更嚴格地控制蝕刻層的厚度。該設備還支持各種蝕刻氣體，提供在一個步驟中蝕刻多個基板的能力。TOKYO ELECTRON INDY B-L也有Advanced Control Architecture（ACA），使蝕刻過程中的所有操作自動化。此功能可確保高精度和重復性,同時縮短處理時間。該系統為用戶提供對流程參數和執行的精確控制。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L利用各種自動監控功能來保證最高質量的輸出。這些包括氣流自動控制、阻抗控制、壓力控制和水密度控制。該單元也是直觀的，用戶可以快速熟悉其操作。TEL Indy-B-L提供完整的計算機控制和數據監控功能。它最多可以存儲1,000種食譜，並且可以編程為運行高需求蝕刻過程而無需運營商幹預。該機還為用戶提供了優化的解決方案，包括配方排序、表格批處理、光刻搜索、臨界尺寸分析和標準偏差最小化。最後,Indy-B-L提供了廣泛的安全功能,包括自動防火工具、氮氣凈化資產和與安全相關的自動警報。確保正確、安全地使用模型。所有這些功能,加上其全面的服務和維護選項,使TEL INDY B-L成為尋求可靠和高質量蝕刻結果的用戶的理想選擇。
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