二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9402686 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是為半導體應用而設計的高端蝕刻/灰化設備。TEL INDY B L擁有10升的大容量,提供同類產品中最高的吞吐量。因此，可以實現更快、更高的收益率。TOKYO ELECTRON INDY B-L由精確控制系統提供動力，該系統具有特殊的樣品處理算法，可以控制溫度、功率和其他參數，以確保精確蝕刻和灰化直徑達150 mm的晶片。TOKYO ELECTRON INDY B L也提供了一系列能最大限度地發揮其潛力的高級特性。其中包括用於精確蝕刻和輸送高級氣體的三級雙噴嘴設計，以及用於安全的集成氣體安全殼裝置。氣體安全器包括氣體過濾器、壓力控制閥和洗滌器，以確保氣體的安全輸送。該工具還具有集成激光輔助對準和高度調節資產，提供精確的晶圓蝕刻角度和均勻性。Indy-B-L的內置軟件提供了蝕刻/灰化過程的自動化和控制。其先進的特點允許在蝕刻過程中精確控制氣體濃度和Z軸壓力。此外,該軟件還具有監控和分析蝕刻質量的工具。這允許用戶通過分析和調整參數來優化生產率，以達到所需的結果。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L擁有一系列遠程操作功能,允許用戶從任何位置控制模型。這包括對加熱和冷卻系統的遠程控制、對蝕刻過程的監測以及食譜的儲存。這樣可以提高蝕刻工藝的效率,提高操作員的安全性。總體而言,INDY B-L是一種高端蝕刻/灰化設備,具有先進的功能,可確保高效、安全的運行。其快速的處理能力和精確的蝕刻結果使其成為滿足半導體應用需求的理想選擇。