二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9412423 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L是一種蝕刻器/asher，是一種用於從工件中去除某些材料的半導體制造設備。它主要用於加工矽片，但可用於一系列制造過程。TEL INDY B L模型的蝕刻器是一種使用等離子體蝕刻來高效去除材料如氧化矽、氮化矽或任何其他介電材料的抗蝕劑圖樣裝置。這是通過激發惰性氣體如氯、溴或氟產生等離子體來實現的，該等離子體產生與工件相互作用的離子，破壞材料的化學鍵並蝕刻掉任何不需要的材料。設備的紙張大小為6.2 「x 7.3」,可重復精度為+/-0.1mm。它在矽片上的蝕刻速率為1.49µm/min，在石英基板上的蝕刻速率為0.76 µm/min。其溫度控制範圍為25-400°C。設備配置為允許工件的最高溫度均勻度為+/-2°C,氣體分布均勻度為+/-10%。TOKYO ELECTRON INDY B-L也設有冷凍泵站，真空控制範圍為60-300 mT，腔室壓力可設定為10-5 mP。腔室壓力可根據蝕刻過程調節，例如對於深層蝕刻過程，需要在腔室中保持較高的壓力。由於蝕刻機的現場監測電路，蝕刻過程也可以實時進行監督。TOKYO ELECTRON Indy-B-L etcher/asher是一種高度先進可靠的設備，用於處理多種材料，包括矽、石英、銅等材料。其原位監測電路確保該過程可靠和可重復，而其可調壓力和溫度能力使其能夠廣泛應用。