二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B #293591338 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B是一款下一代生產蝕刻器/asher，旨在以極高的精度和吞吐量打造高長寬比結構和接觸空穴。機器采用模塊化設計，允許不同的用戶根據自己的特定需求定制機器。TEL Indy-B配備了東芝2.2MeV離子源和1.5米x 1.0米的加工室，共同提供卓越的吞吐率和蝕刻率。蝕刻器/asher還提供了「無觸摸」處理,這意味著在蝕刻、研磨和等離子體處理過程中,所有晶片處理都是非接觸式的,可防止對細膩晶片或設備造成劃痕或其他損壞。該機還采用了強大的反饋控制蝕刻和灰化工藝，使用實時高級匹配算法來保證蝕刻和灰化特征的精確定位，即使在高吞吐量水平下也是如此。除了強大的蝕刻和灰化能力外，TOKYO ELECTRON Indy-B還提供先進的等離子體生成系統，具有多電子回旋共振（ECR）源和一系列氣體註入光學器件。這允許產生各種等離子體，從用於擴散和CVD步驟的超低流量等離子體，到用於蝕刻和灰化的高密度等離子體。等離子體系統的其他特點包括自動調頻、實時氣體匹配和遠程等離子體發生器。利用Indy-B 蝕刻器/asher的各種功能，用戶可以以極高的精度和吞吐量創建高長寬比結構、接觸孔和其他小型設備。此外，它的模塊化設計和強大的過程控制系統使它成為先進的微加工工藝的完美工具。