二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B #9390672 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B是一種蝕刻和灰化系統，旨在為半導體制造商提供高精度和可靠的臨界基板加工。它具有易於學習和用戶友好的TEL界面,允許為不同的流程應用程序提供用戶定義的配方。TEL Indy-B由加熱器/映射器和處理元件兩個主要部分組成，物理連接。加熱器/映射器負責精確加熱和映射晶片，而加工組件執行蝕刻和灰化過程。TOKYO ELECTRON Indy-B具有優化的高分辨率區域映射和全晶圓映射模式。加熱器/映射器不僅為用戶提供精確的溫度控制，還可以讓用戶監控其精確的電阻和電壓水平。它還支持多種氣體，確保有效的氣體流動，並將破損或缺陷的風險降至最低。Indy-B的加工部件最多支持五個腔室，包括兩個平行蝕刻和灰燼、兩個單晶片灰燼和一個單晶片蝕刻器。為確保晶片均勻分布進行處理，TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B基於單晶片或多晶片配方自動處理晶片。TEL Indy-B可以操作直徑達200毫米的晶圓，為用戶提供可靠高效的蝕刻和灰化解決方案。TOKYO ELECTRON Indy-B還具有先進的MEMS測試功能，使用戶能夠快速準確地評估MEMS結構上蝕刻程序的有效性。此外,用戶還可以使用Indy-B的綜合應用程序套件來開發、編程和執行各種蝕刻和灰化過程的配方。這樣可以確保用戶能夠靈活地開發自定義蝕刻和灰分配方,以滿足其確切的應用程序要求。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B是一種高度先進的蝕刻和灰化解決方案,在關鍵基板加工中提供高性能和精確度。其全面的應用套件和全面的測試能力使其成為需要卓越蝕刻和灰化效果的半導體制造商的理想選擇。