二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293587748 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是一種同時設計用於批量和單片加工的蝕刻器/asher。它配有一個大型加工室、一個自動晶片定心機構和一個用於晶片厚度測量的內置傳感器、一個晶片冷卻單元、對準板和空氣調節單元。TEL Indy-I-L是一款多合一設備，可以處理多種材料和工藝，允許微調和容易的工藝優化。它易於使用的界面和觸摸屏控制使得TOKYO ELECTRON Indy-I-L適合所有用戶，無論他們的體驗水平如何。Indy-I-L還具有獨特的基於卡帶的配方系統，允許多個配方保存在同一文件中，從而允許快速高效的參數更改。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L配備了多過程通道的優化單元，允許獨立的過程操作和並發過程。這臺機器縮短了周期,增加了靈活性和吞吐量。TEL Indy-I-L的許多蝕刻工藝包括幹蝕刻、濺射蝕刻、RIE蝕刻和化學氣相沈積。它還能夠在晶片的正面和背面同時濺射。各種氣體，包括CF4和氦氣，都可以用來蝕刻。TOKYO ELECTRON Indy-I-L提供了廣泛的配方，包括原子層蝕刻、納米壓印光刻和介電蝕刻。Indy-I-L采用最先進的冷卻工具進行設計，以保持高工藝質量和穩定性。其高壓氣體資產允許精確的氣流控制，而其先進的真空控制模型則保證了高質量的蝕刻工藝。其強大的真空源確保減少粒子計數，而其浮光束源則提供精確的能量分布。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是先進半導體加工的絕佳蝕刻器/asher。其多工藝能力和不同配方之間的快速轉換使其成為生產尖端設備的絕佳選擇。直觀的觸摸屏界面、先進的冷卻設備和高精度工藝使其非常適合當今要求苛刻的半導體要求。