二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293809896 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是一種為半導體器件制造而設計的蝕刻器/asher。它是一種反應性離子蝕刻器（RIE），利用等離子體蝕刻具有精確控制離子能量、離子通量和離子條件的器器層。蝕刻過程旨在塑造設備的物理特征,同時避免損壞底層結構。TEL Indy-I-L是一種垂直集群設備，能夠同時蝕刻多達6個晶圓。該系統配備了精密級的晶片定位於蝕刻室中，以及用於高頻功率控制的射頻發生器。該單元具有通過邏輯控制控制蝕刻參數的能力，提供精確、可重復的蝕刻結果。它有一個上電極和兩組下電極，將等離子體引向特定的方向。通過更改蝕刻時間和射頻功率級別,可以針對特定的設備層和應用程序定制蝕刻過程。TOKYO ELECTRON Indy-I-L機為提供低溫蝕刻而設計，針對蝕刻超薄模具進行了優化。該工具還包括快速反應氣體凈化資產和氣體處理，以增強蝕刻選擇性和高精度蝕刻剖面。該模型可以從0.05微米的薄層進行蝕刻，在深度控制和整個晶圓的蝕刻均勻性方面具有很高的精確度。蝕刻設備被封裝在不銹鋼腔室中，以確保操作過程中操作員的安全。過程控制由內置PC處理,用於優化蝕刻配方。此外，系統還包括自動晶片裝載機、晶片監視器、離子紗網監視器和質量保證傳感器。Indy-I-L旨在提供高吞吐量的快速處理，使其適合研究和生產設置。
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