二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293812118 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L etcher/asher是為滿足當今晶圓級封裝、MEMS和光電工業苛刻的制造要求而開發的先進生產工具。它提供了卓越的精確度和重復的蝕刻和灰化過程，確保持續高產量和低成本。設備配備精密、高通量晶圓制造的先進能力，以及多種集成工藝模塊。TEL Indy-I-L 蝕刻器/Asher中的集成工藝室設計用於保持與工藝氣體的精確平衡,從而實現卓越的灰化和蝕刻性能。其系統提供了高等離子體均勻性、快速芯片清洗、高工藝速度和最小化的腔室間非均勻性。該設備的設計能夠在配方之間快速切換,從而最大限度地減少與運行過程調整相關的處理時間和成本。此外,它的多鏈技術減少了腔室消耗,並提供了更高的每晶圓吞吐量速率。TOKYO ELECTRON Indy-I-L 蝕刻器/asher內置的安全特性豐富的陣列包括低溫檢測、高壓電平報警、沖擊檢測、高質量加熱冷卻、遠程OPC和晶圓跟蹤等特性。一切都是為了盡量減少灰塵汙染的影響，防止昂貴的重新處理。此外,內置冗余功能提供了機器範圍的故障切換解決方案,以最小的停機時間確保了持續的工作效率。Indy-I-L 蝕刻器/asher也是為方便維護而設計的，具有用戶友好的界面。自動晶圓濃度控制和光刻工具支持簡單操作，同時集成提供動態配方選擇的高級跟蹤技術，讓用戶在配方之間快速交換。最後,TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L 蝕刻器/Asher是一種先進、用戶友好且經濟高效的生產工具,提供業界領先的蝕刻和灰化工藝,極好的等離子體均勻性,高精度和可重復性,減少了停機時間,易於維護。如果您正在尋找一種能夠提供高收益、一致的結果和低成本的資產,TEL Indy-I-L 蝕刻器/asher是理想的選擇。