二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394512 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是一種為半導體基板加工而設計的蝕刻器/asher。它在蝕刻、沈積和表面處理方面具有很高的性能。TEL Indy-I-L是一種靈活的工具，允許用戶從眾多的配方和生產模式中進行選擇，以滿足他們的要求。TOKYO ELECTRON Indy-I-L配備了具有高比例感應耦合等離子體（ICP）源的等離子體源。該光源即使具有很高的縱橫比結構也能提供較高的蝕刻速率和均勻性。該工具還具有雙換能器和防振動系統（AVR）設計,以實現卓越的性能。該室還配備了高效的熱交換器，用於快速加熱和冷卻，以減少循環時間。Indy-I-L具有直觀的用戶友好操作面板，使設備易於使用。用戶可以使用受密碼保護的訪問權限在軟件中設置蝕刻參數。這簡化了過程,並提供了存儲蝕刻配方的安全方法。該軟件還包括一個內置數據庫和文檔，以協助配方開發。對於蝕刻，TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L支持廣泛的蝕刻化學方法，包括高密度等離子體（HDPET）、氧氣（O2）、六氟化硫（SF6）和四氟甲烷（CF4）。該工具還支持一系列反應物氣體，包括氮氣（N2）、氫氣（H2）和氙氣（Ar）。TEL Indy-I-L還具有很高的蝕刻均勻性,能夠實現精細的幾何形狀和關鍵的陣列處理。對於沈積，TOKYO ELECTRON Indy-I-L具有直接鍍層技術（DIP），可實現高速率、高均勻性、薄膜沈積。該工具還具有進行離子輔助沈積和低壓化學氣相沈積的能力。Indy-I-L還配備了先進的晶圓傳輸系統（WTS），用於晶圓的安全快速傳輸。這種高效的晶圓處理系統消除了轉移過程中可能造成的損壞和汙染。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L在半導體基板加工中提供了穩定性、準確性和可重復性。它是一種高效可靠的工具，支持廣泛的蝕刻和沈積技術，以及晶圓處理系統。它是復雜的半導體基板加工要求的理想選擇。