二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394514 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是一種蝕刻器/asher，為半導體器件的制造提供模式化解決方案。它是一種高效、自動化的短脈沖Asher（SPA）設備，使用電子束光學器件在半導體基板上創建高維精度圖樣。它適用於生產需要高分辨率的復雜設備,如邏輯、DRAM和特定於應用程序的集成電路（ASIC）。TEL Indy-I-L配備了多種來源、光束傳輸元件和工藝工具，能夠在單一系統中實現多層曝光。它具有靜態位置精度小於1.5微米的光束編碼傳感器。它還包含一個曝光控制單元，旨在保持跨陣列特征的高度均勻性。在光源方面，它配備了一個大功率的25千瓦磁控管，能夠輸送短脈沖持續時間從幾皮秒到幾微秒不等的激光。除了電子束曝光控制機外，TOKYO ELECTRON Indy-I-L設有原位氣體輸送工具，用於蝕刻和灰化過程。該資產由供氣管線、排氣模型和允許微調工藝性能的壓力控制器組成。此外，它還配備了兩個獨立的集成幹蝕室，能夠進行各種工藝，如蝕刻、灰化和沈積側壁鈍化層。Indy-I-L還包含一個可用於監控和調整設備參數的過程控制計算機和軟件。該軟件允許氣體和等離子體占空比以及暴露劑量的變化。計算機還預編程了多種配方，可用於在生產線的不同系統之間保存和傳輸數據。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是一種高效可靠的蝕刻器/灰化器，非常適合半導體器件制造的所有階段。它具有執行各種蝕刻和灰化過程的能力,並且能夠以較高的精度對復雜幾何進行陣列化。其用戶友好的界面允許輕松操作，而其高功率磁控管和氣體輸送系統則實現了卓越的性能。