二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394962 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是一種蝕刻器/asher,它為氣體和物理蝕刻提供了一種緊湊且經濟高效的解決方案。它旨在提供高度的靈活性和多功能性,並且能夠處理廣泛的蝕刻任務,包括聚合物、電介質、金屬和其他材料的蝕刻。該機可加工直徑達300毫米的晶片，非常適合中小批量制造作業。TEL Indy-I-L的主要蝕刻工藝是使用一種稱為氯氣的特殊氣體完成的。機器配置有兩個註入噴嘴，將氣體註入蝕刻室以產生精確的壓力。因此，從晶圓的各個側面實現了目標材料的均勻蝕刻。可以使用基於PC的用戶界面精確調整壓力、溫度和定時等蝕刻參數，為用戶提供廣泛的蝕刻選項。蝕刻工藝還可以采用磨料濺射、激光蝕刻等物理蝕刻方法進行補充。例如，磨料濺射允許從金屬表面去除有機表面層，而激光蝕刻則允許精確蝕刻凹坑、孔和電路圖樣。TOKYO ELECTRON Indy-I-L還配備了特殊的石英加熱器，蝕刻後可用於幹燥晶圓。Indy-I-L配備了多種安全機制，以確保操作員和設備在發生電離事件或氣體泄漏等意外事件時的安全。該機還配備了高靈敏度傳感器，可檢測蝕刻條件的任何變化。如果發生任何更改,傳感器將觸發自動關機,從而允許操作員采取適當的操作。總而言之，TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是一款出色的蝕刻器，可用於多種材料。它提供了靈活性和多功能性、對蝕刻參數的精確控制以及幾種安全機制-所有這些都是以經濟高效的價格實現的。TEL Indy-I-L是中小型批量制造運營的可靠有效選擇。