二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394964 待售

TEL（TOKYO ELECTRON）TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是一種中等通量、多平臺蝕刻器和asher。它可以用於廣泛的材料，包括金屬，矽，化合物和電介質。其應用包括晶圓清洗、沈積和蝕刻。它具有高度的通用性和適應性,允許用戶使用3維角度蝕刻和背面灰泥。TEL Indy-I-L使用230mm、300 mm和450mm晶圓直徑，非常適合多種應用。它配備了三個電磁閥通道匹配執行器（EVMA）組件，允許高精度和處理速度。使用壽命長的等離子體源可確保不同類型的材料沈積和蝕刻過程的最佳性能。內置的腔室溫度控制設備允許廣泛的蝕刻溫度，提供精確的蝕刻。TOKYO ELECTRON Indy-I-L也包含高溫沈積系統，能夠快速的高溫過程如SiGe/Si沈積和高溫LPCVD。電磁泵支持此功能,有助於保持令人印象深刻的均勻性。不僅如此，蝕刻器還具有氮氣級聯裝置，可確保實現新氣體絕緣和清潔腔室。Indy-I-L在安全方面也很豐富。它配備了安全保護功能，可以在任何操作前後清除腔室，確保達到最高安全水平。機器還利用內置的緊急停止按鈕，在緊急情況下立即停止機器。最後，TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L在運維兩方面都具有彈性。其用戶界面配備了觸摸屏、圖形菜單和雲存儲功能，允許用戶存儲設置和配方，使操作和維護大大簡化和方便。總體而言,TEL Indy-I-L是那些需要高精度、大吞吐量和通用蝕刻/灰化工藝的用戶的理想蝕刻器/灰化器。它堅固耐用,提供用戶所需的精確度和安全性。它還非常方便用戶，使用戶能夠快速響應廣泛的蝕刻和灰化應用。