二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9402690 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是由TEL設計設計的先進等離子體蝕刻器/asher。這款蝕刻器專為多種基板的高通量等離子體蝕刻而設計，包括多層半導體器件、電介質和金屬。TEL Indy-I-L是一款完全集成的蝕刻器，具有高分辨率的自動對準設備、高速取樣機器人以及用於底物和薄膜等離子蝕刻的先進等離子體源。TOKYO ELECTRON Indy-I-L被設計為在廣泛的薄膜和基板上提供高蝕刻速率和選擇性，使蝕刻器被用於制造具有高度精確度和均勻性的器件。高速取樣機器人使具有不同幾何形狀的大型基板得到快速準確的處理，而自動對準系統則確保了模式識別和基板配準的精確。這個單元還有一個先進的等離子體源，能夠提供廣泛的蝕刻功率和氣體，控制程度很高。Indy-I-L先進的過程控制和診斷機器允許實時監控蝕刻過程參數，包括等離子體溫度、壓力、功率和氣體流量。這使工程師能夠精確控制蝕刻參數,並在需要時立即調整參數以確保最高質量的蝕刻過程。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L也與模擬工具完全兼容，允許工程師在實際處理之前測試和模擬蝕刻過程。這樣可以確保工程師擁有必要的數據和信息,以最大限度地提高蝕刻過程的性能。TEL Indy-I-L是需要高通量蝕刻工藝的半導體制造商和研究實驗室的理想解決方案。其先進的特性、靈活性和兼容性使得TOKYO ELECTRON Indy-I-L成為先進研究和設備制造的絕佳選擇。