二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy IRAD #9211646 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy IRAD是一款由半導體制造設備領先供應商TEL設計的蝕刻器和asher。這種尖端蝕刻器和asher旨在幫助半導體制造商實現盡可能高的表面光潔度質量,同時顯著縮短蝕刻時間。TEL Indy IRAD蝕刻器和asher因其獨特的蝕刻腔設計而能夠均勻蝕刻。這種獨特的設計允許改進過程控制、均勻性和可重復性,這是生產質量更高的精加工產品的關鍵。該設計還有助於減少蝕刻時間,同時確保均勻蝕刻深度,這在諸如淺溝隔離(STI)蝕刻等關鍵蝕刻過程中尤為重要。TOKYO ELECTRON Indy IRAD還利用源技術提供最大蝕刻功率和過程控制。光源技術有助於最大限度地提高蝕刻光束的效率,同時最大限度地減少蝕刻時間。它還有助於確保蝕刻過程既安全又一致,並有助於提高蝕刻的均勻性和可重復性。Indy IRAD還配備了全自動裝卸設備。該系統能夠將晶片從盒式磁帶中轉移出來,進行自動晶片對準,並將晶片裝入腔室。該單元極其可靠,有助於消除任何手動錯誤,確保高度精確的蝕刻過程。TEL/TOKYO ELECTRON Indy IRAD還具有內置端點確定機。此工具有助於準確確定已蝕刻材料的總量,有助於確定蝕刻過程是否完整。資產還有助於提高流程收益率並減少蝕刻時間。最後,TEL Indy IRAD旨在減少對多個處理步驟的需求,並且可以與各種蝕刻應用一起使用。其直觀的用戶界面提供了方便的控制和編程,並有助於減少過程時間。TOKYO ELECTRON INDY IRAD還設計用於安全、清潔的房間環境,進一步幫助提高工藝可靠性和效率。所有這些功能使Indy IRAD成為蝕刻和灰化應用的理想選擇。
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