二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293591864 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M是一款針對半導體生產優化的高級蝕刻器/asher。它能夠處理各種類型的基板，從最薄的介電層到最厚的金屬層，同時保持極好的精度和較小的圖案尺寸。該機易於使用和靈活的設計使其成為高級工藝開發和大批量生產的理想選擇。TEL Indy Plus-A-M最重要的特點之一就是其快速過程開發（RPD）技術。該設備具備高速蝕刻處理時間，允許用戶快速開發優化的蝕刻工藝。該蝕刻器還提供對蝕刻工藝參數的高精度控制，從而產生可重復的結果。它還提供了幾種優化膠片均勻性和可重復性的技術。TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M還具有先進的真空技術，用於基於真空的蝕刻應用。該系統具有高達5 x 10-2毫巴的高真空壓力能力，允許蝕刻即使是最薄的材料層。此外，先進的真空技術最大限度地減少了氣體擴散，並保持了必要的低蝕刻溫度，這對於成功的蝕刻過程很重要。除了出色的蝕刻效果外，該單元還配備了先進的安全系統，如先進的自動裝卸機，確保了基板的安全高效處理。所有工具參數，包括溫度和壓力，都可以根據需要容易地進行監測和調整。這樣可以減少出錯的風險,同時提供出色的蝕刻結果。此外,Indy Plus-A-M非常可靠,並通過長時間的生產運行提供性能一致性。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M是一款為半導體生產而優化的可靠且高精度的蝕刻器/asher。其強大的特點促進了工藝的快速發展、高精度的控制，以及出色的膠片均勻性和可重復性，使生產成功。先進的安全系統確保了安全處理和資產的正常性能一致性，使其成為半導體生產苛刻環境的絕佳選擇。