二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293622680 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M是由半導體制造設備的制造商和全球分銷商TEL Ltd.制造的化學蝕刻器和灰化器。TEL Indy Plus-A-M旨在為包括氧化物、氮化物、金屬和聚合物在內的各種材料提供批量蝕刻和灰化服務。該系統利用先進的計算機引導控制器和機器人技術，通過直觀的用戶界面提供全晶片對晶片的過程控制。TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M配備了三個腔室和六個工藝模塊，外加一個額外的氣體分配面板。第一個腔室是蝕刻腔室，用來蝕刻不需要的材料，並用酸、堿或反應性氣體銳化特征。第二個腔室是灰燼腔室，利用氧氣或氮氣基等離子體快速去除薄層材料，允許更快的加工和更一致的光潔度。第三個腔室是一個泵模組，用於仔細控制化學品和氣體的流動，並有助於維持系統的大氣和基板完整性。Indy Plus-A-M的內部計算機引導控制器控制溫度和壓力以及其他操作參數,以獲得準確、可重復和安全的結果。機械臂提供精確的基板移動和放置過程,從而實現最大的吞吐量和最小的停機時間。該系統還提供各種食譜，使其適合各種應用。TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M能夠處理多種底物，包括矽、III-V、聚合物和金屬。它有mini （375毫米）、mid （450毫米）和max （525毫米）版本，可容納直徑達5.25英寸的晶圓。TEL Indy Plus-A-M還具有一個自適應過程監視器，該監視器自動調整蝕刻和灰化參數，以消除處理過程中可能出現的任何潛在的不均勻性。TOKYO ELECTRON INDY Plus-A-M是一款可靠、用途廣泛的蝕刻器和asher，為需要蝕刻和粉刷高密度底物並取得一致結果的客戶提供了巨大的價值。它提供了廣泛的處理選項,可定制以滿足客戶的需求,並得到TOKYO ELECTRON龐大的知識淵博的客戶服務專業人員網絡的支持。