二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293637640 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M是TEL（TOKYO ELECTRON）開發的等離子蝕刻和設備設備，用於半導體和MEMS/NANO加工。TEL Indy Plus-A-M是一種等離子體蝕刻系統，能夠在保持高精度和吞吐量的同時，對極其狹窄和精細的幾何形狀進行高質量的蝕刻。主要用於半導體加工、光掩模制造、MEMS/NANO器件應用。TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M有一個標準的6英寸和8英寸批次或團簇蝕刻室，用於批次、平面或各向同性蝕刻。一個新版本也可在一個更大的12英寸晶圓，以適應更大的晶圓尺寸。該腔室為高生產率而設計，具有優異的均勻性、可重復性和低顆粒汙染。它的高性能過程控制單元和智能設計允許從一個過程快速切換到另一個過程。過程控制機還可以進行實時調整，以確保針對不同類型材料的最佳工藝條件。Indy Plus-A-M配備高級TEL/TOKYO ELECTRON Etch Module （TEM）控制器,可提供機載高級多功能性和控制選項。它支持廣泛的蝕刻配方，包括平面線性和各向異性蝕刻配方。TEM對蝕刻參數的功率、壓力和匹配提供了極高的精度，同時支持多種蝕刻配方和模擬逃逸。TEM處理Si蝕刻和SiN蝕刻配方,集成工具提供卓越的輪廓控制和關鍵蝕刻可靠性。TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M也具有3D等離子體分析功能，允許用戶實時監控蝕刻均勻性和加工條件。它還有一個內置的診斷模塊，可以快速監測和調整過程參數。該資產還具有邊緣偏差模塊,該模塊可針對不同類型的材料優化蝕刻結果。TEL Indy Plus-A-M還通過其專用軟件開發工具包（SDK）支持最終用戶,該工具包允許定制和開發特定於用戶的設備制造應用程序。此SDK提供了將用戶指定的配方和工藝集成到TEL蝕刻模塊中的靈活性,從而確保了對蝕刻工藝的精確和完全控制。總之，TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M是一款先進的蝕刻器，允許用戶高精度、重復性和吞吐量，同時支持各種各樣的蝕刻配方和工藝選項。Indy Plus-A-M具有直觀的操作、集成的過程控制模型和靈活的SDK,是許多半導體和MEMS/NANO制造應用的必備工具。