二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293656320 待售
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單擊可縮放
ID: 293656320
晶圓大小: 12"
優質的: 2016
Furnace, 12"
Process: Low-temperature nitride
Maximum operating temperature: 850°C
N2 Load lock
Wafer type: 300 Si semi STD-Notch
(100) Production wafers
(2) Boat type / (2) boat operation (B/S)
Loading area light: White (LED)
O2 Density control N2 LL
N2 Boat shower wafer cooling
ENTEGRIS F300-2005- 17UT1502
Carrier type: FOUP 25 slots
Edge grip W/T type
VMM-56-306C Mid temperature
Top furnace exhaust connection point
Bottom cooling water connection point
FUJIKIN IGS
Tubing bends: Bend (Less than 90°)
IGS Final filter
CKD IGS Regulator
HITACHI Digital
IGS Press transducer: Nagano
HITACHI AS102S-A HCD SCCM
MKS Capacitance manometer
Press monitor
Pump monitor
Main valve: CKD-VEC
Power box top
Vacuum exhaust system, 4"
Piping trap
CKD-VEC Vacuum pressure control
Quartz material: Electric fused
Quartz inner/outer tube material
Internal T/C: Process tube interior wall type
Tube sealing: N2 Purge and O-Ring seal
Manifold heater
Switch valve for manifold cool
QUARTZ Boat material
117-Slots Ladder (8mm pitch)
Two quartz fins are welded at the bottom
Cap heater
QUARTZ Pedestal type
Shutter purge type
Power supply:
3-Phase connection type: Star connection
Single phase connection: Grounded
Single phase voltage: 120 VAC
3-Phase voltage: 480 VAC
2016 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M是一款最先進的3D 蝕刻/Ashing工具。它具有堅固的設計、卓越的蝕刻和灰化精度和精確度,並已開發出來以滿足當今半導體設備制造商的需求。利用TEL Indy Plus-A-M,用戶可以用較少的工藝變化和較短的周期時間蝕刻和沖洗晶圓。TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M適合於各種蝕刻和灰化應用,以及先進的摻雜、層轉移、退火工藝和厚膜蝕刻。該工具配備了一個LOBOTRON™(激光光束光學Tron)加上機械化反射器(MR)。使用LOBOTRON™, Indy Plus-A-M由於其強大的設計,能夠在減少激光聚焦誤差的情況下執行蝕刻/灰化。此外,由於采用了MR技術,直接處理(例如高長寬比蝕刻/灰化)可以實現,但過程可變性較低。TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M提供了廣泛的工藝功能,包括在超高縱橫比工藝中可以加工低至5 µm的晶片,在高通量應用中可以加工高達9 mm的晶片。它還可以為用戶提供對各種類型的金屬、塑料和氧化物材料以及結晶/非晶態材料的可重復和堅固的蝕刻/灰化。TEL Indy Plus-A-M旨在降低制造成本和提高生產率。其閉環控制(CLC)功能為長期可重復性提供了精確的蝕刻/灰化性能。它還通過提供過程參數的實時反饋來確保一致的產品質量。此外,它的自動化預處理功能有助於縮短蝕刻時間,同時保持所需的進程端點。總體而言,TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M是一個理想的解決方案,適用於需要高級蝕刻和灰化工藝且擁有成本較低的用戶。該工具易於使用的用戶界面、經濟性和內置的安全功能使其成為當今半導體行業的完美工具。對於希望提高產量、減少浪費和提高產品質量的制造商來說,這是理想的選擇。
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