二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293818865 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus是半導體製造時用於底物加工的蝕刻器/asher。本機由兩個由閘閥隔開的加工室組成。頂部腔室包含原始材料，底部腔室包含多種連接在一起的技術，以達到期望的效果。頂室由氣體幕入口、材料分散單元和線性縫隙淋浴頭組成。氣體幕能夠在分配的材料上高速引入幾種氣體，包括氙氣、氮氣或氧氣，從而提高了均勻性和層厚。材料分散單元通過一系列二維分散板將原料分配到基板上。線性縫隙淋浴頭利用熱擴散、加速度和精確運動控制的組合，實現了均勻的塗層。底腔包含一個高分辨率的激光幹涉儀，在控制基板的運動時允許高精度和精確度。該室還配備了先進的機器人手臂，能夠自動旋轉和移動基板到所需的位置。該臂還可以將基板往返烤箱，必要時可利用溫度最高1000 °C加熱基板。TEL TELINDY Plus還包含一個負載鎖定站和一個多點電氣測試夾具。這個鎖載站可以在不改變大氣壓的情況下從室內引入和疏散氣體。多點電氣測試夾具提供摻雜水平、設備完整性、電流讀數等標準電氣測試。此蝕刻器/灰化器具有出色的操作控制能力,能夠滿足各種氣流、溫度、壓力、運動和功率級別的要求。它還能夠控制基板位置和精確沈積，使基板在加工過程中保持平坦。這臺機器非常適合在半導體工業中使用，並因其可靠性和準確性而受到重視。