二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293637541 待售

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M蝕刻設備專為晶圓級體積生產而設計，可集成到多種濕式長凳、負載口和清潔站。該系統具有先進的感應耦合等離子體（ICP）和快速熱循環（RTC）模塊,在矽蝕刻過程中提供卓越的性能。該單元配備了簡化刀具操作和維護的站控機中間控制器（SCIC）。一個易於使用的圖形用戶界面在必要時引導通過資產端口,並且可以確定點對點數據采集和模型狀態。SCIC得到配方存儲功能的補充,該功能允許存儲多個配方,並且可以與多個系統和工具配置一起使用。TEL INDY PLUS B-M蝕刻設備設有ICP發生器和快速熱循環（RTC）模塊，以提供穩定和統一的工藝。ICP是一種高頻（13.56 MHz）的電容耦合等離子體源。ICP有助於提高蝕刻均勻性，提高蝕刻速率，並確保在整個蝕刻過程中具有很高的選擇性。ICP生成器還可以快速、精確地調整流程應用程序,以獲得所需的蝕刻結果。RTC模塊可以在毫秒內在冷熱之間循環，以進行快速熱退火（RTA），這有助於提高工藝的均勻性，保持短蝕刻時間。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M蝕刻系統設計為支持溫度和晶圓級控制。為了優化蝕刻速率和均勻性，對工藝基板溫度進行了快速監測和高度調節，以改變氣流參數和功率水平。晶圓的自動對準和OCR特性也可以處理晶圓的轉移和處理,確保每個基板進入加工室,其後緣垂直於晶圓的表面。該單元利用多個泵、渦輪分子泵和化學噴射系統來管理工藝室。內置質量流控制器（MFCs）管理流程，以維持腔室內的受控氣氛。此外，它還具有離子束安全百葉窗、射頻籃子安全百葉窗、實時腔室壓力監測等多項安全功能。總之，TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M蝕刻機是生產高質量、精密晶片的可靠、堅固的蝕刻工具。它結合了ICP、RTC和晶圓級控制，確保了過程的均勻性，並產生了穩定的可重復性結果。其直觀的耐熱功能降低了維護成本，支持在各種工藝室中工作。