二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293643271 待售
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ID: 293643271
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
Furnace, 12"
Process: MDZrOX
KAWASAKI W/T Robot
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M是一款中等規模的批量蝕刻器/asher,經過設計,提供全面的蝕刻和灰化解決方案。此多站蝕刻器/asher為物理和化學蝕刻/灰化過程提供集成解決方案,允許用戶同時處理多達6種基材。這使用戶能夠提高吞吐量、質量和準確性,能夠隨著時間的推移提供一致的結果和可重復的性能,同時減少停機時間。此蝕刻器/asher通過提供廣泛的功能而脫穎而出,例如高速反應加速度、對蝕刻/研磨條件的精確控制以及先進的工藝監控。所有用戶友好的功能都可以通過其觸摸屏液晶顯示器的直觀界面獲得。這種用戶友好的系統允許操作員輕松更改蝕刻/灰化過程的運行參數,並提供逐步的方向,以便於設置和優化蝕刻/灰化配方。TEL INDY PLUS B-M還提供了卓越的工藝靈活性,為不同的蝕刻/灰化工藝提供了各種氣源和氣流。通過使用AutostopTM函數,可以在完成設定的處理時間或達到所需端點後自動停止蝕刻/灰化操作。這使用戶無需手動監視和調整其工藝條件,即可最大限度地提高其蝕刻/灰化產量。此外,先進的溫度控制系統可確保可靠和均勻的蝕刻/灰化率,同時將丟棄樣品的數量降至最低。這種蝕刻器/asher的設計考慮到了最大的安全和衛生。利用內置的安全聯鎖和先進的傳感器,TOKYO ELECTRON PLUS-B-M能夠安全檢測蝕刻/灰化過程中的任何故障,以及監測和控制化學物質泄漏和廢氣排放。此外,其閉環循環系統最大限度地降低了空氣汙染的風險,其自動清潔周期確保了清潔和無汙染的工作空間。總之,TEL INDY PLUS B M是中型批量蝕刻和/或灰化工藝的絕佳選擇。此高級蝕刻器/asher提供高級功能,允許用戶為其蝕刻/灰化需求設置優化的工藝參數,而其內置的安全功能保證安全可靠的操作。TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M憑借其用戶友好的界面、靈活的工藝選項以及卓越的安全設計,是最苛刻的研究和工業應用的理想蝕刻/灰化工具。
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