二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293643274 待售

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M是一款為半導體制造工藝而設計的蝕刻器/asher，用於制造半導體器件和元件。它是一種高精度的蝕刻器/灰化器，能夠進行各種工藝，如離子蝕刻、鎢蝕刻、化學氣相沈積（CVD）、快速熱退火（RTA）以及用於設備制造的其他先進工藝。蝕刻器/asher裝有高度可靠的介電膜蝕刻器、靜電卡盤和冷卻裝置。這種組合可以使半導體器件和組件的蝕刻和退火達到最佳效果。TEL INDY PLUS B-M具有較大的腔室尺寸和高密度的蝕刻能力，每次釋放最多可處理20個晶圓。蝕刻器/asher配有內置的智能過程控制,可自動執行過程並確保生產的一致性。Smart Process Control還允許用戶實時監控設備，從而可以監控蝕刻和退火過程參數。另外，TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M可以在多種溫度範圍內使用，使其適合廣泛的應用。INDY PLUS-B-M的設計采用了流線型直觀的用戶界面，使用戶可以輕松瀏覽蝕刻和退火過程。它還配備了先進的診斷系統，可以識別異常並診斷蝕刻或退火過程中可能出現的任何問題。該單元配備了一個數據庫，用於存儲蝕刻或退火過程的配方以及存儲測試結果以進行比較的能力。TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M具有位於腔室入口附近的多個離子源，可以很容易地插入，用於特定的蝕刻和退火應用。蝕刻機還配備了先進的安全機器，以確保操作員的安全並防止發生任何事故。此外，蝕刻器/asher還配備了自動工具校準，使檢查和校準軟件與正確處理各種材料所需的不同參數對齊。總體而言，INDY PLUS B-M是為先進的半導體制造工藝而設計的可靠、高精度的蝕刻器/asher。它為蝕刻、鎢蝕刻、CVD、RTA和其他用於設備制造的高級工藝提供了快速高效的工藝。它的大腔室尺寸和高密度蝕刻能力，加上內置的智能工藝控制，使其適合廣泛的應用。此外,該資產還配備了高級診斷、數據存儲能力和自動模型校準功能,使其成為任何半導體制造過程的可靠選擇。