二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293649725 待售

TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M
ID: 293649725
晶圓大小: 12"
Furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M是TEL開發的高級蝕刻設備,提供最高水準的蝕刻精度、速度和精度。它是一個高效可靠的系統,是尋求提高吞吐量和提高準確性的半導體公司、研究機構和大學的理想選擇。TEL INDY PLUS B-M可以完成廣泛的應用,包括淺溝蝕刻、細小缺陷和納米尺度的隔離區域。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M單元的特點是三合一組合的蝕刻器,一個asher和一個敏感器。它的三個核心組件各具有先進的技術,以確保所有蝕刻和灰化過程的最佳性能。該機還包括一個精確的高度傳感器,以確保精確的蝕刻高度,以及一個大型多板儲物櫃,用於存儲件之前和之後蝕刻。TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M配備了提高表面質量和蝕刻深度的化學機械拋光工具,以及確保精確氣體分布的真空工具。其先進的蝕刻器具有極好的精度,保證精度為0.5um,而asher資產則配備了高速、高容量的特性,以保證高速蝕刻和ashing操作。此型號的最大灰化率為333晶片/小時,精度高達0.5 μ m,可滿足各種蝕刻需求。INDY PLUS B-M還具有全自動操作功能,可改善對數據和報告信息的訪問。此設備能夠進行自我診斷,以檢測任何可能損壞的蝕刻過程,從而實現實時校正和反饋。它用戶友好,使操作員能夠輕松地從集中控制臺監視和控制參數。此外,其先進的軟件和控制系統可以在整個蝕刻過程中實現精確的控制和靈活性。總體而言,INDY PLUS-B-M是一種先進而可靠的蝕刻器、粉碎器和感受器系統,可提供最先進的精度和準確性。其用途廣泛、用戶友好的設計使得它成為許多應用蝕刻工藝的理想選擇,無論是在半導體制造操作還是研究實驗室。
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