二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293656658 待售
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單擊可縮放
ID: 293656658
優質的: 2010
Furnace
Process: LPCVD, Poly
Hard Disk Drive (HDD)
Load port
Carrier transfer
FIMS
Boat elevator / Seal cap rotation
Auto shutter
VMM-56-201 Heater
Process: LPCVD, Poly
N2 Load lock
Load port
HTR
Exhaust box
Power box
Front and reer upper cover
Final valve box
Wafer transfer
Carrier transfer
Gas flow chart
O2 Analyzer
Does not include HCT
Si SEMI STD-Notch, 12"
M780 Furnace temperature controller
User interface:
Pressure display Unit: MPa / Torr
Carrier type: FOUP / 25slots SEMI STD
Carrier stage capacity: 16
Fork material: Al203 and PEEK
W/T Type: 1+4 Edge grip
RCU
Power distribution system:
3-Phase connection type: Star connection
Single-Phase connection: Grounded
Gas distribution system:
FUJIKIN Integrated Gas System (IGS)
MFC Z500 IGS Final filter, regulator
Power supply: 400 VAC, 50/60 Hz, Single phase, 3-Phase
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M蝕刻器（又稱asher）是一種高度先進的半導體加工工具，專為高通量應用而設計。該設備為各種基板提供了卓越的控制和可靠的精度，從厚膜光刻膠到薄膜金屬互連。TEL INDY PLUS B-M蝕刻器的主要特點是其獨特的設計結合了KOS（已知氧化帶）和MPT（多圖樣技術）兩種處理技術。KOS技術使用高速等離子束，能夠去除晶圓表面的有機汙染物。這種工藝非常適合氧化物去除、氧化物脫墨或氧化物剝離等應用。另一方面，MPT技術利用能量較低的光束和較高的蒸發氣體壓力將高密度模式蝕刻到基板上。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M的設計是在保持品質的同時削減加工時間。它利用計算機控制的軟件，允許用戶根據自己的需要對蝕刻設置進行編程。該軟件還集成了高級軟件例程，以幫助用戶快速準確地選擇特定類型應用程序的設置。此外,TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M具有一系列選項,允許用戶選擇特定過程的設置,如模式密度、定時、氣體類型和氣體流量。INDY PLUS B M還附帶各種外圍元件和傳感器，幫助用戶控制和監控蝕刻過程。該系統包括一個先進的光學高溫計，用於測量晶圓溫度，並允許用戶相應地精確調整蝕刻參數。此外,該設備還具有各種安全功能,例如防撞機、防止潛在高壓弧災難的傳感器,以及在出現問題時通知操作員的報警工具。TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M蝕刻器是尋找可靠、精確蝕刻資產的半導體公司和研究機構的理想選擇。它提供了以高通量和精確度處理各種基板的能力，使其成為廣泛應用的理想工具。
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