二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293665668 待售

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M是一種蝕刻器（又稱asher），設計用於半導體IC加工和器件制造的制造設施。它是一種單晶片加工工具，能夠同時生產薄膜和厚膜IC。該裝置由不銹鋼構成，具有兩個獨立的卡帶室和一個晶圓傳遞室。TEL INDY PLUS B-M可以在一個站上同時處理多達25個晶圓，提供卓越的吞吐量和無與倫比的能效。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M配備了PLC（可編程邏輯控制器）和人性化的觸摸屏顯示屏，為操作員提供了全過程控制。可以通過內置PC跟蹤和記錄過程和結果。此外,設備還可以與外部計算機連接以進行進一步處理。TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M配備了兩個獨立的CFEEC（化學流動蝕刻引擎&Coaters）單元，每個單元包含三個側面安裝的20 cm吊艙。CFEEC設備可提供最多八種不同的蝕刻和沈積配方,以及最多三種氧化物薄膜環形蝕刻操作選項,從而完全控制蝕刻和沈積速率。此外,設備是完全分段的,因此可以在每個晶片的基礎上分別控制工藝配方步驟和參數。TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M可以配置為整合到許多高級工藝線和應用中。它完全可定制,並提供多種配件,使其能夠用於各種應用,包括等離子體蝕刻、剝離、襯墊封裝和金屬沈積。它還能夠提供一致的蝕刻和存款利率以及極高的可重復性。總體而言,TEL INDY PLUS B M承諾為半導體IC制造和設備制造的應用提供用戶友好的操作、精確的過程控制和高效的操作。它是一種緊湊、功能強大的設備,對任何生產設施都是一種寶貴的資產。