二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293670620 待售

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M是一款具有先進特性的高端蝕刻器/asher，非常適合工業和科學應用。其特點包括：一個91 x 52厘米的加工室，可選擇擴展到119 x 62厘米。一種電源,允許高達120瓦的功率,用於蝕刻和灰化過程。可容納多達21個晶圓的雙預熱和後加熱爐。多個射頻發生器輸出,可針對特定蝕刻和灰化過程單獨編程。微波灰化功能,具有可選的微波功能。一種先進的壓力系統，可以實時監控，在蝕刻和灰化過程中準確控制壓力。自動清洗，具有控制清洗氣體的壓力、溫度和流量的能力。一種觸摸屏用戶界面,允許用戶輕松配置其蝕刻和灰化過程,並監視其過程的進度。可以用來監視處理室狀態的多個傳感器，包括溫度、壓力和流量。一個包括空氣洗滌器系統，它有助於去除顆粒物汙染物和提高晶圓質量。TEL INDY PLUS B-M旨在提供一貫優異的效果,維護要求低,預期壽命長。它的設計也考慮到了易用性、清晰直觀的用戶界面。其眾多的特點使得它成為工業和科學應用的理想選擇，從蝕刻和灰化到先進的工藝控制。