二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293763486 待售
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單擊可縮放
ID: 293763486
晶圓大小: 12"
優質的: 2016
Vertical furnace, 12"
Process: Pyro
Air valve: CKD
VOS-56-101PT Heater
Process chamber
MFC, MFM: AERA
MAIN / APC: CKD
Gases: HCL, H2, O2, N2
Load lock system
Storage
4-Color signal tower
Carrier transfer
Load port: Side FFU
FIMS Port
Wafer transfer
Boat elevator
Auto shutter
Manufold scavenger
(2) Boat transfers
Boat stage
Manifold
Utility box:
WAVES Controller
GFC Display
Operation panel
Data I/O
Hardware switch
Gas unit
Cooling unit
APC controller
Temperature controller
Vacuum line
Power box:
EMO Unit
Control board
Hardware switch
Transformer
SCR Unit with controller
N2 Purge unit
RF Power
Rapid cooling unit
Pump box
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Operating system: Linux
Power supply: 120/480 V, 3 Phase, Single phase
2016 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M是由領先的半導體設備製造商TEL Limited（TOKYO ELECTRON）設計生產的蝕刻器/asher。蝕刻器/asher提供高級功能來處理高級設備制造的復雜要求。TEL INDY PLUS B-M是一種電感耦合等離子體（ICP）蝕刻器/asher，旨在優化半導體器件的生長和性能。它配備了用於生產工業標準、高精度設備的精確、高性能ICP源。即使在較高的蝕刻速率下,ICP源也能實現密集而均勻的蝕刻過程。該蝕刻器具有自動等離子發生器、工藝室、室頂控制設備、真空系統、反應性氣體輸送裝置、泵和控制器組件。真空機配備了提高性能和可靠性的雙泵配置，以及優化真空質量的氣體擴散屏障和真空傳感器。反應性氣體輸送工具能夠精確控制精密蝕刻操作的蝕刻條件。該工藝室支持多個進氣口，用於精確引入反應性氣體，並具有可變的非均勻性補償特性，以提高工藝均勻性。腔室頂部裝有3級自動關閉閥，在等離子體暴露時提高安全性。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M還附帶了廣泛的高級工藝選項，包括晶圓批處理加載、冷卻、脫氣、層轉移和端點控制（EPC）。EPC功能支持對過程端點的精確控制,並允許設備工程師優化設備性能。晶片批次加載資產最多支持四個晶片,從而實現高吞吐量過程。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M 蝕刻器/asher是先進半導體器件生產的絕佳工具。它提供可靠、精確的蝕刻性能以及先進的工藝特性,以優化設備制造。
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