二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293763487 待售
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ID: 293763487
晶圓大小: 12"
優質的: 2015
Vertical furnace, 12"
Process: Pyro
Air valve: CKD
VOS-56-101PT Heater
Automation system
Process chamber
MFC, MFM: AERA
MAIN / APC: CKD
Gases: HCL, H2, O2, N2
Load lock system
Storage
4-Color signal tower
Carrier transfer
Load port: Side FFU
FIMS Port
Wafer transfer
Boat elevator
Auto shutter
Manufold scavenger
(2) Boat transfers
Boat stage
Manifold
Utility box:
WAVES Controller
GFC Display
Operation panel
Data I/O
Hardware switch
Gas unit
Cooling unit
APC controller
Temperature controller
Vacuum line
Power box:
EMO Unit
Control board
Hardware switch
Transformer
SCR Unit with controller
N2 Purge unit
RF Power
Rapid cooling unit
Pump box
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Operating system: Linux
Power supply: 120/480 V, 3 Phase, Single phase
2015 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M是一款為高精度、大批量生產微元件而設計的蝕刻器/asher。該設備專為專業生產設施而設計，是一種可靠的口罩、板材蝕刻和灰化工藝控制裝置。它能夠為各種濕處理任務提供精確和可重復的結果。TEL INDY PLUS B-M使用包含在一個腔室內的等離子體發生器的多腔室蝕刻電池運行，而要蝕刻的晶圓則包含在另一個腔室內。這允許過程同時進行,並確保對過程參數的高度控制。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M具有一系列安全功能,可防止開門、過溫和壓力以及其他電子事件造成的過程損壞。此外，該系統經認證符合IEC 61010-1標準，以確保在任何實驗室環境中的可靠運行。此外,該設備效率高,工藝重復率達95%.因此,該機器非常適合於高通量的生產過程,並為多種類型的蝕刻過程以及灰化產生非常精確的結果。除了高品質的成績外，INDY PLUS B M的設計提供了許多方便的特性。例如,它具有可配置的圖形用戶界面（GUI）,允許為自動蝕刻過程編程參數,以及方便地查看進程狀態。再者，它的接口可以鏈接到各種其他系統如EDX、Rhythmlogics等等。這允許與內部和第三方系統集成,從而提供了極大的靈活性。該工具還包括獨特的設計,允許引入新的工藝步驟參數,如電壓、壓力和溫度。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M是專業生產設施需要打造高精度、大容量微元件的理想蝕刻器/asher。它提供了可靠的過程控制、高度的可重復性以及鏈接到各種其他系統的能力。此外,它還提供了易於配置的圖形用戶界面和引入新的過程步驟參數等方便的功能,提供了極大的靈活性,使其成為同類系統中最通用的系統之一。
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